??? LSI, FPD ?? ?? ???
?? ??, ?? ???, ??? ??
FPD / LSI ??? ??? ? 4?? ???? Line-up ??

??? ????
| L200N / 200ND ???? – ???? : 200 x 200mm (8″ x 8″) (6?? / 8?? ??? ??) |
|
| L300N / 300ND ???? – ???? : 350 x 300mm (14″ x 12″) (12?? ??? ??) |
???? : CFI60-2
| – ?? NA? ? ???? – 1x, 2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x, 100x, 150x ? ??? ?? – ??? ??? ?? | ![]() |
????? ? ??? ??
?? ??? ??? Focus-Target ?? Focus-Target? ??? ???? Bear Wafer ?? ??? ?? ??????? ?? ??? ??? ?? ? ????.
?? ??? ??? ??? ?? – ???? ??, ??? ??, ???? ?? ? ?? ???? ??? ???? ?? – ??? ??? ??? ???? ???? ??? ?? |
??? ?? ??

??
????

L ??? ????
Tags: 2d 미터 교정, 2d 미터 수리, 2차원 미터, 3d 미터, 3D 미터 수리, 반도체 LSI/FPD 현미경L300N / L300ND, 수리 cmm 미터, 수리 미터, 수리 현미경, 장비의 기간은 확인해야 함, 장치 교정







