Hãng s?n xu?t: Mahr

Model: WM 100

Thông s? k? thu?t

– Ph??ng pháp ?o: Giao thoa k?, giao thoa k? ánh sáng tr?ng.

– Ngu?n sáng (WLI): LED, 505 nm

– D?i ?o: ??n v? c?m bi?n có th? di chuy?n ???c b?ng tay 200 mm trên tr?c Z

– Bàn có th? di chuy?n theo cách th? công trên tr?c X và Y

– Giao thoa k?, giao thoa k? ánh sáng tr?ng:

– D?i ?o (WLI): lên ??n 100 µm (ph??ng th?ng ??ng).Nhi?u h?n theo yêu c?u.

– Cung c?p bao g?m:

– H? th?ng c?m bi?n bao g?m:

+) ??u c?m bi?n -WLI

+) Camera, 1280 x 1024 pixels, lên ??n 169 fps

+) 100 µm piezo drive, ??u ?o Z

– WLI software module, h? ?i?u hành

– PC kèm Windows 10 và màn hình 24”

– ?? và c?t b?ng ?á granit v?i h? th?ng c?m bi?n ??nh v? b?ng tay

– B?ng XY th? công

– 20×0.4 DI lens (Giao thoa k? ánh sáng tr?ng)