3D ?? ???(3D CMM ???)? ?? ?? ?? ??
CCMM ??? ?? ???? ??? ??? ?? ??? ??? ????. ??? ???, ??? ??? ??(?? ?? ??? ??) ?? ??? ?? ????? ?? ??(?? ??) ??? ?? ? ??) ?? ??? ???? ?????.

??? ???? ??? ??? ?? ???? 4?? ?? ??? ????.
1. ????? ? ???(???): ?? ?? ?? ???
???? ??? ?? ??? ???? ?? ??? ??????. ?? ??? ???? ?? ???? 10? ??? ????. ?? ???? ?? ? ???? 5??? 10???? ???? 0.13 µm ? 0.25 µm???.
2. ????? ??: ?? ??? ?? ??
? ??? ??? ????? ?? ?? ???? ?? ?? ?? ?? ?????. ? ???? ? ??? ?? ?? ??? ???? ??? ??? ????.
3. ????: ?????
?? ??? ?? ??? ?????. ?? ??? ??? ???? ?? ??? ??? ?? ?? ???? ????.

4. ????? ? ?? ?? : ???? ? ?? ??
???? ?? ???? ???? ??? ??????.
??? ?? ?? ??? ????.
– ?? ??? ?? ? ??? ??? ??? ?????.
– ?? ??: ??, ?, ??
– ??? ??: ??, ???, ??? ?? ???
– ???? ??? ?? ??? ?? ???? ??? ??? ????? ?? ????.
