Nikon Wafer LoaderOST-3100/3200

• 300mm Wafer? ???? ?? ?? ?? ??
• MACRO / MICRO IMAGE ??? ??? ? Digital Camera System? ?? ??
• R&D ?? ????? Inline?? System, ?? ??

OPTISTATION-3100/3200

New Optics
        – ??? CFI60 ??? ???? ??? ???? ??

– ?? Contrast? ???? Flare ??.

– ? ????(W.D)? ?? ???? ??? ?? ??? ??? ??

– Darkfield? ??? ?? ??? 3? ? ??? High Imaging? ??

??? ??? ? DUV ???

– ?? ??? DUV ??? ??? 90nm? ?? ?? ??? ??

Review inspection with ADC 

– ??? ?? ?? ? ?? ??? ??? ?? ??? ??

– ??? ???? ?????? ?? ?? ? ??? ??

LOADER PORT ??? ???

– 2?? Load Port? ??? ?? Layout? 300mm ?? ??? ?? ?? ??

– ??? ??? ???? ?? ??? ??

??? ??, 3??Mode? Macro??

– Surface Macro Inspection, Edge Inspection, Backside Macro Inspection

– ??? (WIL-100) ?? (LIL-100) ?? ??? ??? ??? ??

– ??? ?? ???  ???? ?? ??

1. Surface macro inspection         2. Edge macro inspection            3. Backside Macro inspection

??? ?? ? ??? ??, ?? ?? ???

        – ??? ? ?? ?? ?? ??

        – ???? ??? ???

– Macro / Micro ?? Image Capture

– Probers ? Auto-detection ?? ??? ??

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