Nikon Wafer LoaderOST-3000

• 300mm Wafer? ???? ?? ?? ?? ??
• MACRO / MICRO IMAGE??? ??? ? Digital Camera System? ?? ??
• R&D ?? ????? Inline?? System? ?? ??? ??? ??? ??

OPTISTATION-3000

New System warped wafers of transfer
– Warped Wafer ?? ??

– Robotic Arm, Wafer? ?? ??? Warped Wafer ??? ??? ??

FOUP Opener

– BACK End Process?? Cassettes? ?? ??? ???? FOUP Opener? ???? ??

– ??? FOUP, FOSB ? FFO ??? ?? ?? ??? ??

High throughput 

– ???? ?? ???? ???? Cycle Time ??

– ??? ?? ?? ? Wafer ?? ??? ??? Risk Time ??

3?? MODE? MACRO ?? ??

1. Surface macro inspection        2. Edge macro inspection            3. Backside Macro inspection

Nikon’s CFI60 optics Extra-Long Working Distance (ELWD) lens

High transfer stability

– ?? ??? ???? ??? ?? ??? ???? ???

– Wafer ??? ??

– SEMI ?? (S2-93A ? S8-95 ??)? ???? ?? ??? ??

        – ??? ? ?? ?? ?? ??

        – ???? ??? ???

– Macro / Micro ?? Image Capture

– Probers ? Auto-detection ?? ??? ??

– ?? ?? ?? ?? ??

– ?? ?? ???, ?? ?? ?? ???? ??? ?? ?? ?? ??

Combined System 200mm,300mm Wafer ?? System

                                   Lp 200mm Cassette Load    LP 300mm FOUP Load