Hexapod lai với đầu 60 độ và hành trình nghiêng

ALIO Industries ?ã công b? s? s?n có c?a Angulares  Hybrid Hexapod m?i c?a mình. Hành trình ??u/nghiêng 60 ?? c?a Angulares  Hybrid Hexapod cung c?p ph?m vi di chuy?n góc nh?t có s?n t? b?t k? thi?t b? ??nh v? 6-B?c-T?-do (6-DOF) nào trên th? tr??ng.

Angulares  có các h??ng d?n vòng bi l?n chéo chính xác, ph?n h?i b? mã hóa gia t?ng ho?c tuy?t ??i quang h?c trên t?t c? các tr?c, ??ng c? tuy?n tính và/ho?c ? tr?c vít bóng servo, v? trí ?i?m trung tâm công c? có th? l?p trình không gi?i h?n và ?? l?ch t?a ??, và không có ph?n ?ng d? d?i trên t?t c? các tr?c. Thi?t k? giúp cho Angulares  có kh? n?ng di chuy?n XY không gi?i h?n, hành trình Z là 62 mm, có th? t?ng lên 208 mm khi s? d?ng các ki?u giá ba chân khác, di chuy?n ??u/nghiêng 60 ?? (+/- 30 ??) v?i Theta-Z 360 ?? liên t?c, ?? l?p l?i hai chi?u XYZ nh? h?n +/- 0,6 cung-giây, v?n t?c lên ??n 100 mm/giây XY và Z, và chuy?n ??ng gia t?ng t?i thi?u theo góc tuy?n tính và 0,1 giây cung nh? h?n 10 nanomet.

Hybrid Hexapod ???c phát tri?n b?i ALIO Industries ?? gi?i quy?t các h?n ch? v? hi?u su?t c? h?u c?a hexapod thông th??ng. Thi?t k? 6-DOF ?ã ???c c?p b?ng sáng ch? c?a ALIO k?t h?p li?n m?ch và t?n d?ng các ?i?m m?nh c?a c?u trúc ??ng h?c n?i ti?p và song song ??ng th?i tránh các ?i?m y?u c?a chúng. Hybrid Hexapod mang l?i tính linh ho?t ch?c n?ng cao h?n nhi?u, ?? chính xác ? c?p ?? nanomet, kh? n?ng l?p l?i và qu? ??o 6-DOF v??t tr?i so v?i b?t k? c?u hình sân kh?u x?p ch?ng ho?c hexapod truy?n th?ng nào.

Hexapod tiêu chu?n ph?c v? th?a ?áng các ?ng d?ng yêu c?u dung sai chuy?n ??ng micron, nh?ng khi nhu c?u v? yêu c?u nanomet m? r?ng, hexapod tiêu chu?n g?p khó kh?n. ?i?u này là do có nh?ng h?n ch? v? hi?u su?t v?n có trong t?t c? các thi?t k? hexapod “thông th??ng”. Chúng ho?t ??ng trong không gian 3 chi?u, và b? l?i ? c? 6 DOF. Tuy nhiên, các h? th?ng chuy?n ??ng sáu chân th??ng ch? ???c ??c tr?ng b?i d? li?u hi?u su?t c?a m?t b?c t? do duy nh?t. Th?c ti?n này khi?n các ngu?n l?i không ???c tính ??n ? m?t s? b?c t? do, ??c bi?t là trong các l?nh v?c ph?ng và th?ng, v?n là nh?ng nhu c?u chính xác quan tr?ng ? c?p ?? nanomet. ?? ph?ng và ?? th?ng t?t nh?t c?a hành trình hexapod v?n không chính xác h?n 2 b?c ?? l?n (ít h?n 2 d?u th?p phân) ??i v?i chuy?n ??ng XY c? b?n.

B?i vì hexapods có sáu liên k?t ???c ?i?u khi?n ??c l?p ???c k?t h?p v?i nhau ?? di chuy?n trên m?t n?n t?ng chung, l?i chuy?n ??ng c?a n?n t?ng s? là m?t ch?c n?ng c?a các l?i c?a T?T C? các liên k?t và kh?p n?i. Hexapod ???c bi?t là có ?? chính xác t?i ?u khi th?c hi?n di chuy?n tr?c Z, b?i vì t?t c? các liên k?t ??u th?c hi?n cùng m?t chuy?n ??ng ? cùng m?t góc liên k?t t??ng ??i. Tuy nhiên, khi b?t k? chuy?n ??ng X, Y, cao ??, ngáp ho?c cu?n nào khác ???c ra l?nh, hi?u su?t ???ng d?n hình h?c và ?? chính xác c?a hexapod gi?m ?áng k? do t?t c? các liên k?t ?ang th?c hi?n các chuy?n ??ng khác nhau. Trong tr??ng h?p các hexapod thông th??ng ???c ch? t?o v?i các kh?p n?i, ? tr?c và b? ?i?u khi?n chuy?n ??ng không chính xác không có kh? n?ng l?p các ph??ng trình ??ng h?c thu?n và ng??c, ngu?n g?c c?a l?i th?m chí còn rõ ràng h?n.

Thi?t k? ??c ?áo c?a Hybrid Hexapod bao g?m m?t chân máy ??ng h?c song song ?? t?o ra m?t ph?ng Z và chuy?n ??ng ??u/nghiêng. Giá ba chân này ???c tích h?p v?i m?t t?ng ??ng h?c n?i ti?p nguyên kh?i cho chuy?n ??ng ph?ng XY. M?t b? quay ???c tích h?p vào phía trên cùng c?a giá ba chân (ho?c bên d??i tùy theo nhu c?u c?a ?ng d?ng) cung c?p kh? n?ng xoay liên t?c 360 ?? (Theta-Z).

Trong thi?t k? k?t h?p này, các tr?c riêng l? có th? ???c tùy ch?nh ?? cung c?p ph?m vi hành trình XY t? milimét ??n ph?m vi h?u nh? không gi?i h?n trong khi v?n duy trì ?? chính xác ? m?c nanomet. ??ng h?c c?a b? ?i?u khi?n thu?n và ngh?ch m?i l? cung c?p s? l??ng không gi?i h?n các v? trí ?i?m trung tâm c?a công c? có th? l?p trình cùng v?i hi?u su?t và ?? chính xác c?a ???ng ?i ch?a t?ng có.

Angulares hoàn toàn phù h?p cho các ?ng d?ng bao g?m ?o l??ng quang h?c phi c?u và d?ng t? do, ?óng gói và th?m dò quang t? silicon, x? lý vi laze (ch?t n?n không ph?ng và ?i?u khi?n ?? côn), ?o l??ng wafer, c?n ch?nh và l?p ráp mô-?un máy ?nh, th? nghi?m ?n ??nh hình ?nh/c?m bi?n và quang h?c c?n ch?nh ph?n t? và s?i quang

?? bi?t thêm thông tin: www.alioindustries.com