Hướng dẫn xử lý hình ảnh Quy trình kẹp robot di động

Với Giải pháp bán di động, KUKA đã thực hiện một bước quyết định trong tự động hóa sản xuất chất bán dẫn. Cho đến gần đây, người máy đã được sử dụng trong các bước sản xuất riêng lẻ. Kuka đã tạo ra một robot di động chịu trách nhiệm vận chuyển các tấm wafer có độ nhạy cao từ trạm này sang trạm khác. Trên robot là một hệ thống xử lý hình ảnh từ Cognex có hiệu suất cao nhưng kích thước nhỏ gọn.

Hiệu suất của chất bán dẫn quyết định tốc độ đổi mới. Điều này áp dụng nhiều cho tự động hóa công nghiệp cũng như truyền thông kỹ thuật số qua điện thoại di động, máy tính xách tay, công nghệ tòa nhà thông minh và ngành công nghiệp ô tô. Và thị trường đang tiếp tục phát triển. Năm 2018, ngành công nghiệp bán dẫn quốc tế đạt doanh thu bán hàng 481 tỷ USD và con số này dự kiến ​​sẽ đạt 525 tỷ USD vào đầu năm 2022 theo một nghiên cứu của PwC.

Ngành công nghiệp rô-bốt cũng đang tận dụng xu hướng này, chẳng hạn như thế hệ điều khiển và bộ điều khiển mới nhất cung cấp các chức năng bổ sung. Tuy nhiên, ngược lại, khả năng đổi mới của các nhà sản xuất robot cũng đang đẩy nhanh hiệu quả và năng suất của các nhà sản xuất bộ vi xử lý. KUKA cung cấp nhiều loại rô-bốt cực kỳ linh hoạt cũng có thể nhanh chóng được điều chỉnh cho phù hợp với nhiều yêu cầu xử lý khác nhau do vòng đời của chất bán dẫn ngắn và thị trường cũng không ổn định tương ứng.

Hệ thống xử lý di động cho phòng sạch

Sử dụng robot, các bước sản xuất riêng lẻ có thể được tự động hóa một cách hiệu quả và đạt tiêu chuẩn chất lượng cao. Tuy nhiên, cho đến nay, robot vẫn chưa được sử dụng để vận chuyển chất nền bán dẫn (tấm bán dẫn) từ máy trạm này sang máy trạm tiếp theo. Lý tưởng nhất là các nhà sản xuất bán dẫn thích tự động hóa từ đầu đến cuối, bởi vì điều kiện phòng sạch nguyên sơ có thể đạt được tốt hơn nhiều với ‘sản xuất không người lái’. Tuy nhiên, cho đến nay, khía cạnh này của quy trình vẫn chưa thể thực hiện được do thiếu độ chính xác khi di chuyển và nắm bắt của rô-bốt di động.

KUKA hiện đã phát triển giải pháp nguồn đơn đầu tiên trên thế giới để vận chuyển và xử lý băng cassette bán dẫn tự động: ‘Giải pháp bán di động’. Trong trường hợp này, rô-bốt LBR iiwa hạng nhẹ được gắn trên phương tiện dẫn đường tự động KMR 200 CR (AGV). AGV có thể cơ động trong không gian nhỏ nhất và các kỹ sư của KUKA đã phát triển một hệ thống kẹp tinh vi để xử lý.

Giải pháp hệ thống: AGV cộng với Cánh tay rô-bốt cộng với Kẹp gắp

Giải pháp Bán di động đi đến một điểm bàn giao nơi đặt các hộp vận chuyển wafer. Khi AGV đã đến đích, cánh tay rô-bốt sẽ vào vị trí để xác định chính xác vị trí của nó với sự trợ giúp của cảm biến xử lý hình ảnh tích hợp và thực hiện hiệu chỉnh chính xác.

Điều này di chuyển robot vào vị trí để nắm bắt hộp vận chuyển với độ chính xác cao và đặt các tấm mỏng nhạy cảm mà không có bất kỳ rung động nào trong không gian lưu trữ trên nền tảng AGV. Sử dụng phương pháp này, robot có thể nhặt và vận chuyển hai hộp có kích thước khác nhau dành cho các tấm wafer có đường kính 200 hoặc 300 mm. Khi đã đến đích, robot sẽ chuyển các hộp vận chuyển trên dây chuyền xử lý tương ứng.

Giải pháp Bán di động di chuyển quanh phòng trên cơ sở các điểm đến được lưu trữ nhưng tự chọn tuyến đường đến đó. Khả năng điều hướng của nền tảng LBR iiwa cho phép nó di chuyển tự động theo cách an toàn và nhạy cảm. Theo dõi môi trường được hỗ trợ bởi máy quét laze. Họ nhận thức môi trường trong thời gian thực, do đó ngăn ngừa va chạm.

Để biết thêm thông tin: www.cognex.com