LASER 미세가공장치NEL-150i

LASER ??????NEL-150i

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LASER ??????

??? ?? ???? NEL-150i

? ??? YAG ??? ??? ? ?? ???, ?? X,Y Stage? ??? ??? Wafer? ??? Laser?? ??

? Stage? ???? ?? Interface?? ??? ??? ??? ?? Positioning

? ??? YAG LASER? ??? ?? LENS? ?? Taget? ???? ?? ??

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? NUV? ?? ???? ??

– ??? ??(g? : 436nm)? ???, ?? NA ?? ??? ???? ?? ? ?? ??

? UV ?? ?? ?? ?? ? ??

– ??? YAG ???? ??

– 4? ??? (266nm)? ??? Lens? ?? Ø0.5?m ??? ?? ?? ??

? ??? ?? ?? ? Positioning

– ??? ???? ?? ?? X,Y Stage? ??

– ??? ????? CCD Camera? Target ???? ??? ?? Target? ??? ?? ??? ?? ??? ???? ????

– ???? ??? X,Y ??? Stage? ?????? ??? positioning ? ?? ??

– ??? ??? CCD ?? ?? ?? ?? ?? ??

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? ??? ? ?? ??? ??, Scribing Marking

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? ITO ? ??? ??? ??

? Micromachining(?? ?? ??) ?? ??

? ?????(Lithography) ?? ?

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? ?? ?? ?? ??, Controller

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Model	NEL-150i
??	Metal Halide Lamp
??	??? / g ? (?? ??? ?? ?)
?? ??(?? ?)	?? ? : 2.5×, 10×, 50× ?? / ?? : 150×(532nm), 100×(266nm)
AF	Image AF ??
???	3 × 1/1.8 ?? CCD 200? ??
?? ??	X : 150mm, Y : 150mm
?? ???	± 0.25?m
? Stage	± 3 ?
???? ??	Nd : YAG, 532nm / 266nm
??	2mJ (532nm) / 1mJ (266nm) ??
?? ?	8 ~ 6nsec (532nm) / 7 ~ 5nsec (266nm)
?? ???	1 ~ 6Hz
?? ??	?? 3mm ?
?? ?? ???	Ø0.5?m ?? (100 ×, 266nm)
?? ??(mm)	??? ?? : 992 (W) × 833 (D) × 1655 (H) ???? : 650 (W) × 600 (D) × 1600 (H)
? ??	?? : ? 850kg ???? : ? 100kg

????

NEL-150i (K)

Tags: 2d 미터 교정, 2d 미터 수리, 2차원 미터, 3D 미터 수리, LASER 미세가공장치NEL-150i, 수리 cmm 미터, 수리 미터, 수리 현미경, 장비의 기간은 확인해야 함, 장치 교정

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