Cách chọn kim đo cho máy đo không gian 3 chiều(máy đo 3D CMM)

Có nhi?u nhân t? ?nh h??ng t?i ?? chính xác c?a phép ?o máy CMM nh? :?? chính xác c?a máy, lo?i ??u ?o s? d?ng (ki?u ch?m ti?p xúc hay quét) ho?c ph??ng pháp ch?m t?i ?u, nh?ng trong ?ó kim ?o (thông s? k? thu?t và c?u hình c?a kim ) c?ng góp ph?n ?nh h??ng t?i ?? chính xác c?a phép ?o

          

Có 4 y?u t? chính trong vi?c l?a ch?n kim ?o ?nh h??ng t?i ?? chính xác c?a Máy:

1.      Stylus ball sphericity (roundness): ?? tròn c?a ??u kim ?o

Ph?n l?n các ??u kim ?o có d?ng hình c?u, ???c làm t? ?á rubi t?ng h?p. ?? tròn c?a các ??u kim ?o ?nh h??ng t?i 10% ?? chính xác c?a máy. ?? tròn c?a ??u kim ?o ph? bi?n nh?t là c?p 5 và c?p 10 v?i ?? tròn: 0,13 µm và 0,25 µm.

2.      Stylus bending: kh? n?ng ch?u u?n c?a kim ?o

?? gi?m s? ?nh h??ng c?a y?u t? này, t?t c? các kim ?o ??u ???c hi?u chu?n b?ng qu? c?u hi?u chu?n tr??c khi s? d?ng. Các kim ?o dài và các ??u n?i dài ??u ???c làm t? s?i carbon ?? làm gi?m tr?ng l??ng và ?? c?ng.

3.      Thermal stability: s? ?n ??nh nhi?t ??

S? thay ??i nhi?t ?? c?ng là nguyên nhân gây ra sai s? phép ?o. Vi?c l?a ch?n v?t li?u kim ?o s? làm gi?m ?nh h??ng c?a s? thay ??i ?i?u ki?n  môi tr??ng, làm t?ng ?? chính xác c?a phép ?o.

4.      Stylus tip material selection: l?a ch?n v?t li?u cho ??u kim ?o

Ph?n l?n trong các ?ng d?ng, các ??u ?o ??u ???c làm t? ?á rubi

Ngoài ra còn có m?t s? nguyên nhân khác nh?:

–         C? ren c?a kim ?o có thích h?p v?i c?m bi?n ch?n l?a

–         Ki?u kim ?o: th?ng, sao, xoay

–         Ki?u ??u kim ?o: c?u, ??a, tr? hay bán c?u

–         Kích th??c c?a ??u ?o là gi?m t?i thi?u s? ?nh h??ng c?a b? m?t nhám t?i ?? chính xác c?a phép ?o.

Tags: , , , , , , , , , , ,

Bài viết trước đó LASER 미세가공장치NEL-150i
Bài viết sau đó MASK/Wafer 측정기AMFiM 개요