MASK/Wafer 측정기AMFiM 개요

MASK/Wafer ???AMFiM

??

Mask ?? ???

?? ??? 9?? ?? ????? ??? ??? ????? ?????.
? ?? ????? ?? ??? ???? ???? ??? ???? ?? ???? ?? ? ????.
i? LED ??? ???? ?????? ?????.

 

??

?????

???????9?? ??
?? ??0.5?30?m??? ? ???
30?500?m????? ?? ???
?? ?? ?????1 ?23??5nm
?? ?? ?????13??15nm
?????1??????8? 30? ??
??????13? ??

?1??? ?? ????? ??
?2??? 30?? ??? ??

????

Tags: , , , , , , , , , ,